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JKZC-RP-50C高精度旋轉(zhuǎn)平臺
JKZC-RP-50C 高精度旋轉(zhuǎn)平臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時保證納米級分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。
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JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺
JKZC-ST-5CD 五軸納米掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運助分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
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JKZC-ST-6CD六軸納米掃描臺
JKZC-ST-6CD六軸納米掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
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JKZC-ST-FA五軸重載荷壓電平臺
五軸重載荷壓電平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
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JKZC-ST-X-100X軸納米定位/掃描平臺
JKZC-ST-X-100 X軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功...
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JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺
JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米何服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描...
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JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺
JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
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JKZC-ST-Z Z軸納米定位/掃描平臺
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
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JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
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JKZC-TM-350六自由度調(diào)臺
六自由度調(diào)臺可實現(xiàn)多自由度運動，動態(tài)范圍大，重載穩(wěn)定性強，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
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JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺
音圈電機驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運動機構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸線性運動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運動?？梢詫崿F(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運動。
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JKZC-X-16A單軸長行程壓電滑臺
JKZC-X-16A 單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運動原理及整/亞步復(fù)合納米運動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運動精度。
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