描述：JKZC-ST-5CD 五軸納米掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)助分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-22
訪問量
80

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品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺(tái)

JKZC-ST-5CD 五軸納米掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)助分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺(tái)

1、典型應(yīng)用

掃描顯微鏡

生物技術(shù)

顯微成像/操縱

干涉測(cè)量

超分辨率顯微鏡

掩模/晶圓定位

計(jì)量

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)分辨率

超高定位精度

無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

高速、高動(dòng)態(tài)

多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描

3、2D尺寸圖

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-ST-5CD	單位
運(yùn)動(dòng)軸	X,Y,Zθx,θY
驅(qū)動(dòng)類型	壓電陶瓷
XY/Z向上的閉環(huán)行程	60/60/50	μm
θx/8v/8Z向上的閉環(huán)行程	100/100/100	μrad
X/Y/Z向上的閉環(huán)分辨率	1/1/1	nm
θx/θY/θZ向上的閉環(huán)分辨率	0.1/0.1/0.1	μrad
X/Y/Z向上的線性差	0.01	%
θx/θV/θZ向上的線性差	0.1	%
X/Y/Z向上的重復(fù)定位精度	5/5/5	nm
θx/θY/θZ向上的重復(fù)定位精度	士0.1/士0.1/士0.15	μrad
平面度	15	nm
X/Y/Z向上的空載諧報(bào)頻率	110/110/200	HZ
最大負(fù)載	1	Kg
傳感器類型	電容傳感器
真空(可選)	超真空兼容(5x10")	mbar

*真空版型號(hào):JKZC-ST-5CD-HV

5、適配控制器

JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺(tái)

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