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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺
JKZC-ST-XYZ-100三維納米定位/掃描平臺基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動，通過高性能納米何服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運(yùn)動分辨率、納米級運(yùn)動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
光學(xué)對準(zhǔn)
納米壓印
顯微成像/操縱
表面檢測
高密度存儲
測量技術(shù)表面檢測
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點(diǎn)
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
可正置/倒置
超高真空兼容性
高速、高動態(tài)
多運(yùn)動模式：定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-XYZ-100 | 單位 | |
運(yùn)動觸數(shù) | 3 | |
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | |
閉環(huán)行程 | 100x100x100 | μm |
閉環(huán)分辨率 | 1/1/1 | nm |
最小步長 | 2/2/2 | nm |
XY/Z向上的無負(fù)載諧頻率 | 600/600/550 | Hz |
最大負(fù)載 | 200 | g |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
尺寸(LxWxH) | 40x40x42 | mm |
白重 | 150 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽線纜長度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar |
真空版型號:NP-OL-Z-HV
5、適配控制器
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