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2024-12-10
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詳細介紹
| 品牌 | 北京精科 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺
JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機構(gòu)和壓電執(zhí)行器實現(xiàn)超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運動分辨率、納米級運動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
1、典型應(yīng)用
光學(xué)對準
納米壓印
罡微成像/操縱
表面檢測
高密度存儲
則量技術(shù)
表面檢測
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點：
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
超高真空兼容性
高速、高動態(tài)
多運動模式:定位/掃描
3、20尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-XY-100 | JKZC-ST-XY-200 | 單位 | |
運動觸數(shù) | 2 | ||
驅(qū)動類型 | 壓電陶瓷 | ||
閉環(huán)行程 | 100x100 | 200x200 | μm |
分辨率 | 0.35 | 0.5 | nm |
最小步長 | 1 | 2 | nm |
無負載諧振頻率 | 450 | 350 | Hz |
最大負載 | 1/5/10/定制 | Kg | |
傳感器類型 | 電容傳感器 | ||
尺寸(LxWxH) | 100x100x21 | 150x150x30 | mm |
白重 | 850 | 1400 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | ||
工作泗度 | -20-80 | ℃ | |
屏蔽線纜長度 | 2 | m | |
材料 | 鋁合金 | ||
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar | |
真空版型號:NP-OL-Z-HV
5、適配控制器
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