描述：音圈電機驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運動機構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸線性運動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運動。可以實現(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運動。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時間
2026-04-21
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59

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品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺

音圈電機驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運動機構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運動實現(xiàn)Z軸線性運動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運動。可以實現(xiàn)單軸直線運動、兩軸線性插補、兩軸圓弧插補、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運動。

JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺

1、典型應(yīng)用

品圓檢測與量測

硅片對準與定位

顯微操作

視覺伺服

大視場成像

半導(dǎo)體封裝。

芯片與器件測試

光學(xué)對準與操作

MEMS制造與檢測

激光加工

2、技術(shù)特點

高精度:音圈電機具有較高的定位精度和重復(fù)定位精度，可以滿足高精度應(yīng)用的需求。

高響應(yīng)速度:音圈電機的響應(yīng)速度快，可以快速響應(yīng)控制信號，實現(xiàn)快速運動。

高可靠性:音圈電機的結(jié)構(gòu)簡單，故障率低，具有較高的可靠性。

低噪音:音圈電機的運行噪音低，適合在需要低噪音的場合使用。

3、2D尺寸圖

JKZC-UVZ-10B三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-UVZ-10B
運動軸	θx,θY,Z
驅(qū)動類型	音圈電機
θx/θY偏轉(zhuǎn)角度	±12.5	mrad
Z閉環(huán)行程	3	mm
θx/θY重復(fù)定位精度	15	μrad
Z向重復(fù)定位精度	15	nm
豎直最大負載	1	kg
整定時間	≤100	ms
無負載諧振頻率	160	HZ
傳感器類型	光柵編碼器
自重	8	kg
尺寸(LxWxH)	φ280x72	mm
工作溫度	-20-100	℃
電氣接口	D-sub9(可定制)
線纜長度	2	m
真空(可選)	超真空兼容(5x10")	mbar