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2024-12-10
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 北京精科 | 產(chǎn)地類(lèi)別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
JKZC-ST-Z-50 Z軸納米定位/掃描平臺(tái)
Z軸納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過(guò)高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃搭功能。
1、典型應(yīng)用
光學(xué)對(duì)準(zhǔn)
納米壓印
顯微成像/操縱
光柵刻寫(xiě)
雙光子聚合
光學(xué)移相
晶圓檢測(cè)
表面檢測(cè)
測(cè)量技術(shù)
半導(dǎo)體加工
2、技術(shù)特點(diǎn)
超高定位精度
高動(dòng)態(tài)
無(wú)摩擦柔性較鏈導(dǎo)向
超高真空兼容性
多運(yùn)動(dòng)模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規(guī)格參數(shù)
JKZC-ST-Z-50 | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)觸數(shù) | 1 | |
驅(qū)動(dòng)類(lèi)型 | 壓電陶瓷 | |
閉環(huán)行程 | 50 | μm |
分辨率 | 0.35 | nm |
定位精座 | 5 | nm |
無(wú)負(fù)載諧振頻率 | 500 | Hz |
最大負(fù)載 | 0.5/1/5/定制 | kg |
傳感器類(lèi)型 | 電容傳感器 | |
尺寸(LxWxH) | 55x45x18.3 | mm |
白重 | 208 | g |
電氣接口 | D-sub9/可定制 | |
工作泗度 | -20-80 | ℃ |
屏蔽線纜長(zhǎng)度 | 2 | m |
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10") | mbar |
*真空版型號(hào):JKZC-ST-X-100-HV
5、適配控制器
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