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高精度晶圓對位平臺采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計，具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度旋轉(zhuǎn)平臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時保證納米級分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。

高速納米掃描臺基于音圈電機(jī)驅(qū)動和高精度導(dǎo)向模組實現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動，內(nèi)置光柵位移傳感器，具有納米級運(yùn)動分辨率和運(yùn)動精度，同時兼具高速、高動態(tài)位移定位和掃描功能。

專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計，具備高精度、高動態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級運(yùn)動控制系統(tǒng)。

任何位移臺都有6個自由度:3個分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。

精密運(yùn)動位移臺基于步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動和高精度導(dǎo)向模組實現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運(yùn)動，內(nèi)置光柵位移傳感器，結(jié)構(gòu)緊湊，通過自主研發(fā)的高性能納米伺服系統(tǒng)獲得優(yōu)異的閉環(huán)控制效果，具有高精度、高速、高動態(tài)位移定位和掃描功能。