描述：高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級(jí)分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。

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高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，提供連續(xù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)保證納米級(jí)分辨率，擁有的可拓展性和可集成性。

高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

樣品檢驗(yàn)

精密微組裝

光路切換

顯微及納米CT

機(jī)器視覺

半導(dǎo)體檢測(cè)

2、技術(shù)特點(diǎn)

高精度、高穩(wěn)定性

高運(yùn)動(dòng)速度

輕量化設(shè)計(jì)且結(jié)構(gòu)緊湊

支持開環(huán)和閉環(huán)模式

超高真空兼容性

可提供軸心補(bǔ)償模塊抑制軸心晃動(dòng)

高可靠性及模塊化設(shè)計(jì)，摩擦單元可替換

滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景

3、2D尺寸圖

高精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)