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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
精密運動位移臺
精密運動位移臺基于步進電機驅動和高精度導向模組實現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動，內(nèi)置光柵位移傳感器，結構緊湊，通過自主研發(fā)的高性能納米伺服系統(tǒng)獲得優(yōu)異的閉環(huán)控制效果，具有高精度、高速、高動態(tài)位移定位和掃描功能。
1、典型應用
掃描電鏡(SEM)樣品操縱
主動光學
超分辨成像樣品移動
微納裝備及制造
集成電路制造與檢測
高真空樣品精度對準及調(diào)姿
納米聚焦與掃描
顯微及納米CT
2、技術特點
步進電機驅動精密設計
嵌入式納米位移傳感器系統(tǒng)
超高指向精度、高動態(tài)、低噪聲
無摩擦、零間隙、免裝配
多運動模式:定位/掃描
超長行程
3、規(guī)格參數(shù)
JKZC-SM-25 | JKZC-SM-50 | JKZC-SM-100 | JKZC-SM-300 | JKZC-SM-500 | 單位 | |
運動軸 | X | |||||
驅動類型 | 步進電機 | |||||
X閉環(huán)行程 | 25 | 50 | 100 | 300 | 500 | mm |
豎直最大負載 | 5-25 | kg | ||||
分辨率 | 1.22/12.5 | nm | ||||
最小步長 | ±100 | nm | ||||
重復定位精度 | ±500 | nm | ||||
傳感器類型 | 光柵編碼器 | |||||
工作溫度 | 10-50 | ℃ | ||||
材料 | 鋁合金/鈦合金 | |||||
電氣接口 | D-sub9(可定制) | |||||
線纜長度 | 2 | m | ||||
真空(可選) | 超真空兼容(5x109) | mbar | ||||
4、適配控制器
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