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電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場(chǎng)變化時(shí)電容值的變化量來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測(cè)量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了的測(cè)量分辨率、線性度以及高測(cè)量帶寬，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。

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二維高速壓電偏擺鏡 采用差分驅(qū)動(dòng)與差分傳感設(shè)計(jì)，通過(guò)負(fù)載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高。

JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-IM系列高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

JKZC-TM系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。