任何位移臺都有6個自由度:3個分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。

此處描述的所有運動都是關(guān)于右手坐標系的，所有的運動都可以看成是由沿坐標軸方向的平動和繞坐標軸方向的轉(zhuǎn)動的復(fù)合運動。

當選擇一款專業(yè)的位移臺時，需要考慮很多不同評定位移臺性能的指標。了解各種各樣參數(shù)的定義以及他們?nèi)绾斡绊戇\行結(jié)果將簡化產(chǎn)品的選擇過程。

1、分辨率 Resolution

分辨率是指移動系統(tǒng)可以分的最小位置增量，它不同于系統(tǒng)的最小控制增量。同樣涉及到顯示器和數(shù)據(jù)采集器的分辨率，通常取決于傳感器的輸出，但由于滯后、背隙等導致傳動系統(tǒng)的降低，因而大多系統(tǒng)的最小移動增量都不等于分辨率。

2、靈敏度Sensitivity

能產(chǎn)生一個輸出運動的最小輸入，通常用來表征位移臺，也可以定義為輸入驅(qū)動和輸出運動的比值，這個術(shù)語經(jīng)常和分辨率混淆。

3、精度Accuracy

對于一個給定的輸入，實際位置和理想位置之間的最大差距。運動系統(tǒng)的精度跟實際位置的測量方式有很大的關(guān)系，所以對于開環(huán)設(shè)備中精度并不是一個很有意義的參數(shù)。

4、絕對精度Absolute Accuracy

絕對精度是指系統(tǒng)針對命令輸入或理想輸入的輸出，更直觀的說應(yīng)該叫不確定度。當要求-個運動系統(tǒng)精確運動10mm，而實際上只運動了9.999mm，則不確定度是0.001mm。位移臺的軸線和測量尺的軸的角度誤差會導致一個與角度呈余玄關(guān)系的單調(diào)遞增誤差，這就是常說的余玄誤差。

5、精確度Precision

精度是指對相同輸入，覆蓋95%運動偏移的變化輸出位置的變動范圍。精確度也叫重復(fù)定位精度。精度和精確度是不同的概念。

6、重復(fù)定位精度 Repeatability

重復(fù)定位精度是指移動系統(tǒng)多次可到達一個既定點的能力。通常所說的重復(fù)定位精度指的是單向重復(fù)定位精度，單向重復(fù)定位精度是指運動系統(tǒng)僅在一個方向上做重復(fù)增量運動。這個參數(shù)避開了系統(tǒng)的空回和滯后。

7、線性度 Linearity

平臺的實際運動位置偏離擬合直線相應(yīng)值的程度，通常用最大偏差與行程的百分比來表示。

8、諧振頻率 Resonant Frequency

引起運動平臺發(fā)生諧振的一階固有頻率。

9、開環(huán)/閉環(huán)控制Open/Closed Loop Control

開環(huán)控制:控制器與平臺之間只有命令發(fā)出而沒有反饋的控制。

閉環(huán)控制:控制器與平臺之間有命令發(fā)出也有結(jié)果反饋的控制。

10、誤差Error

誤差是指實測的品質(zhì)參數(shù)和理想的/需要的結(jié)果之間的差值。誤差主要有兩個方面:軸向誤差，如精度，與沿著運動方向的參數(shù)有關(guān);非軸向誤差，如傾斜，與約束的自由度方向相關(guān)。

11、偏心和擺動Eccentricity and Wobble

偏心有時也稱同心度，旋臺的偏心是指當旋臺旋轉(zhuǎn)時它的旋轉(zhuǎn)中心與平均位置的偏差。如果一個旋臺是絕對同心的，那么在旋轉(zhuǎn)時就沒有偏心。對于旋臺，擺動是旋轉(zhuǎn)軸的角度偏差。

12、跳動 Runout

跳動是指非軸向線性誤差。這是位移臺的理想直線運動和實測直線運動之間的偏差。跳動有兩個正交分量:表征水平方向偏差的直線度和表征垂直方向偏差的平面度。

13、傾斜和擺動 Tiltand Wobble

傾斜和擺動是指非軸向角度誤差。它是指理想的運動直線和實測的運動臺之間的偏移量。傾斜和擺動有三個相互垂直的分量，一般指的是轉(zhuǎn)動、俯仰和偏擺。這三個分量決定了由幾何何形狀引起的所有運動系統(tǒng)誤差。

14、負載能力 Load Capacity

對于位移臺來說，負載能力是指所允許的作用于位移臺臺面中心且與運動方向和工作臺面垂直的合力的大小。對于旋轉(zhuǎn)臺來說，合力的方向是沿著旋轉(zhuǎn)軸的。若負載不在工作臺的中心，則負載須適當減少。

15、法向負載能力 Normal Load Capacity

法向負載能力是指可直接作用于移動臺面上中心的最大負載，負載量主要受限于工作臺軸承所能承受的負載能力。

16、橫向負載能力 Transverse Load Capacity

橫向負載能力也叫側(cè)面負載能力，是作用于垂直運動方向軸線且沿著工作臺面的最大的負載力，通常受限于軸承的負載力，并且由于兒乎沒有軸承承載，因而比法向負載力能力要小。

17、軸向負載能力Axial Load Capacity

傳動方向上的最大負載，對于豎直安裝的線性位移臺，標稱的垂直載重能力經(jīng)常由軸向負載能力所限制。更多時候軸向負載能力取決于電機和螺桿的負載能力。

18、速度 Velocity (Speed)

速度是指單位時間內(nèi)位移的改變量。最大速度是指位移臺正常負載情況下的最大速度。負載越輕速度越快。最小穩(wěn)定速度主要依賴于運動系統(tǒng)驅(qū)動設(shè)備的速度穩(wěn)定性。

19、加速度 Acceleration

加速度是指單位時間內(nèi)速度的變化量。

20、慣量Inertia

慣量是負載抵抗速度改變的一個量度。慣量性越大，負載加速或減速時需要的轉(zhuǎn)矩也越大。慣量是一個負載大小和形狀的函數(shù)。如果能對轉(zhuǎn)矩做出限制，那么允許加速和減速的次數(shù)就會增加。