描述：高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對(duì)位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-21
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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)

高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)采用音圈電機(jī)直接驅(qū)動(dòng)的并聯(lián)機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有速度快、剛度高、承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。滿足工業(yè)產(chǎn)線上高精度、高頻率的對(duì)位、綁定、貼合、組裝等應(yīng)用需求。

高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

納米壓印技術(shù)

顯微操作

視覺(jué)伺服

激光加工

光學(xué)對(duì)準(zhǔn)測(cè)量

微電子制造業(yè)

2、技術(shù)特點(diǎn)

高精度、高穩(wěn)定性

大偏轉(zhuǎn)角度

承載大

內(nèi)置超精密光柵位移傳感器實(shí)現(xiàn)全閉環(huán)解耦控制

響應(yīng)速度快

剛度高

頻率高

3、2D尺寸圖

高精度晶圓對(duì)位平臺(tái)

4、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-XYR-10B	單位
運(yùn)動(dòng)軸	X,Y,θZ
驅(qū)動(dòng)類型	音圈電機(jī)
X/Y閉環(huán)行程	±10/±10	mm
θZ偏轉(zhuǎn)角度	±3	°
豎直最大負(fù)載	10	kg
閉環(huán)分辨率	12.5	nm
最小步長(zhǎng)	100/100	nm
最小轉(zhuǎn)動(dòng)分辨率	1.4	μrad
無(wú)負(fù)載諧振頻率	160	HZ
傳感器類型	光柵編碼器(玻璃光柵)
自重	22	kg
尺寸(LxWxH)	380x380x85	mm
工作溫度	-20-100	℃
電氣接口	D-sub9
線纜長(zhǎng)度	2	m
真空(可選)	超真空兼容(5x10)	mbar