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2017-10-19
+2025-03-26
+2020-12-17
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JKZC66.X90C高分辨率壓電納米定位臺可實現(xiàn)一維X向直線運動，行程可達到95μm。閉環(huán)版本采用電容CAP閉環(huán)，搭配芯明天自研的E53.D1C-H壓電控制器，可以實現(xiàn)更高精度的運動控制。
JKZC66.X15系列高分辨率壓電納米定位臺為一維X向運動壓電平臺，其內(nèi)部采用直驅(qū)機構(gòu)，可進行15μm范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整。可采用水平、立式、倒置三種安裝方式，每種安裝承載能力不同，承載上限可達1kg。閉環(huán)版本可實現(xiàn)更高的定位精度。
JKZC66.X2K為一款一維真空高分辨率壓電納米定位臺。該產(chǎn)品采用直驅(qū)結(jié)構(gòu)，可在X向?qū)崿F(xiàn)2.4μm位移，承載可達1kg。它尺寸為70mm×85mm×20.5mm，體積非常小巧，可在體積有限的空間中使用。定制航空連接器，可在真空環(huán)境下使用。
產(chǎn)品特點 1、Z向位移1000μm 2、可選閉環(huán)傳感器 3、承載1.5kg 4、靜電容量72μF 5、真空版本可選
為滿足客戶真空無磁環(huán)境下壓電納米定位臺使用需求，芯明天研發(fā)和設計了JKZC60.Z500S/K-C1W一維Z向壓電納米定位臺。其內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設計。定位臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)500μm位移。閉環(huán)版本全橋設計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。其內(nèi)部結(jié)構(gòu)、材質(zhì)已經(jīng)過特殊處理，適用于真空無磁環(huán)境。
JKZC60.X200系列壓電納米定位臺采用機構(gòu)放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，在X軸可實現(xiàn)達200μm的位移，可配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式實現(xiàn)二維、三維運動。
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