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2017-10-19
+2025-03-26
+2020-12-17
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JKZC-P11系列小體積壓電納米定位臺(tái)為小體積1~3維壓電平移臺(tái)，JKZC-P11.X為一維小體積壓電納米定位臺(tái)，平臺(tái)內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，多維運(yùn)動(dòng)無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級(jí)。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。
JKZC-P84為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的移動(dòng)，再通過控制驅(qū)動(dòng)電壓，使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)
JKZC-P83為標(biāo)準(zhǔn)測(cè)微頭與可產(chǎn)生高分辨率位移的壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相結(jié)合，通過手動(dòng)調(diào)節(jié)大范圍的測(cè)微頭實(shí)現(xiàn)13mm大范圍的移動(dòng)，再通過控制驅(qū)動(dòng)電壓，使壓電陶瓷機(jī)構(gòu)相應(yīng)伸長或縮短到預(yù)定位置，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)測(cè)微頭高分辨率的精調(diào)節(jié)。
JKZC-P70系列壓電掃描臺(tái)具有兩個(gè)版本，分別為二維 XY向運(yùn)動(dòng)、一維 Z 向運(yùn)動(dòng)。兩個(gè)版本在四個(gè)角的位置都具有四個(gè)通孔，孔心距為 30mm，非常適于籠式結(jié)構(gòu)的安裝。XY運(yùn)動(dòng)版本額外具有四個(gè)沉孔，也適于螺紋安裝固定。
JKZC-P66.X60高分辨率壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源并采用直驅(qū)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的壓電位移平臺(tái)，是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng)，可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用，如干涉中光路徑長度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
1、 一維 X 向運(yùn)動(dòng) 2、行程達(dá) 38μm 3、承載力達(dá) 1kg 4、可選閉環(huán)版本、真空版本
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