描述：為滿足客戶真空無磁環(huán)境下壓電納米定位臺使用需求，芯明天研發(fā)和設(shè)計了JKZC60.Z500S/K-C1W一維Z向壓電納米定位臺。其內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。定位臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)500μm位移。閉環(huán)版本全橋設(shè)計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。其內(nèi)部結(jié)構(gòu)、材質(zhì)已經(jīng)過特殊處理，適用于真空無磁環(huán)境。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時間
2026-08-06
訪問量
27

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JKZC60.Z500S/K-C1W壓電納米定位臺（真空無磁）

JKZC60.Z500S/K-C1W壓電納米定位臺

產(chǎn)品介紹：

為滿足客戶真空無磁環(huán)境下壓電納米定位臺使用需求，芯明天研發(fā)和設(shè)計了JKZC60.Z500S/K-C1W一維Z向壓電納米定位臺。其內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu)，一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計。定位臺內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)500μm位移。閉環(huán)版本全橋設(shè)計避免了溫度的漂移，確保了納米級定位精度。其內(nèi)部結(jié)構(gòu)、材質(zhì)已經(jīng)過特殊處理，適用于真空無磁環(huán)境。

產(chǎn)品特點：

1、一維Z向運動 2、Max.行程可達500μm 3、真空無磁

4、水平安裝下負載可達2.5kg 5、外形尺寸138×138×36mm^3

典型應(yīng)用：

1、SPM掃描顯微鏡 2、掩模/晶圓定位 3、表面結(jié)構(gòu)分析 4、生物技術(shù)

JKZC60.Z500S/K-C1W壓電納米定位臺

技術(shù)參數(shù)

型號		尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	JKZC60.Z500S-C1W	JKZC60.Z500K-C1W	單位
運動自由度			Z	Z
驅(qū)動控制			1路驅(qū)動，1路傳感	1路驅(qū)動
標(biāo)稱行程范圍（0~120V）			400	400	μm±10%
Max.行程范圍（0~150V）			500	500	μm±10%
傳感器			SGS	-
閉/開環(huán)分辨率			13.5	0.5	nm
閉環(huán)線性度			0.078	-	%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度			0.03	-	%F.S.
空載諧振頻率			260	260	Hz±20%
帶載諧振頻率@1100g			120	120	Hz±20%
承載能力	水平安裝		2.5	2.5	kg
	立式安裝		0.05	0.05
	倒置安裝		0.1	0.1
閉/開環(huán)空載階躍時間			120@1100g，30μm	10	ms±20%
靜電容量			58.5	58.5	μF±20%
工作溫度范圍			-20~65	-20~65	℃
材料			鈦、鋁	鈦、鋁
重量			950	950	g±5%
真空度			1×10^(-6)	1×10^(-6)	mbar

安裝方向	水平安裝	立式安裝	倒置安裝
釋義	將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認方向	將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載	將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方
示意圖
備注	當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口