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2019-10-16
+2019-09-16
+2024-08-28
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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,道路/軌道/船舶,綜合,機械設備 |
JKZC66.X2K&P66.X5K高分辨率壓電納米定位臺

產品介紹
JKZC66.X2K為一款一維真空高分辨率壓電納米定位臺。該產品采用直驅結構,可在X向實現(xiàn)2.4μm位移,承載可達1kg。它尺寸為70mm×85mm×20.5mm,體積非常小巧,可在體積有限的空間中使用。定制航空連接器,可在真空環(huán)境下使用。
JKZ66.X5K為一款高分辨率壓電納米定位臺。該產品采用壓電陶瓷直驅,可在X向實現(xiàn)4.7μm位移,水平方向安裝承載可達2kg。體積小巧,結構緊湊,尺寸僅為85×70×15.5mm^3,,適于在體積有限的空間中使用。該產品分辨率可達0.005nm,階躍時間可達1毫秒,適于高精度快速響應應用。
產品特點
1、 一維X向運動 | 2、 毫秒級響應時間 | 3、 真空版本可選 | 4、 可選水平/立式/倒置安裝使用 |
產品應用
1、 干涉顯微 | 2、 掃描 | 3、 光學測量 | 4、 精密控制計量 |

技術參數(shù):
型號 | JKZC66.X2K | JKZC66.X5K | 單位 | |
運動自由度 | X | X | ||
驅動控制 | 1路驅動 | 1路驅動 | ||
標稱行程范圍(0~120V) | 1.9 | 1.9 | μm±10% | |
Max.行程范圍(0~150V) | 2.4 | 4.7 | μm±10% | |
開環(huán)分辨率 | 0.02 | 0.005 | nm | |
空載諧振頻率 | 6.4 | 2 | kHz±20% | |
帶載諧振頻率 | 5@20g | 0.4@2kg | kHz±20% | |
階躍時間 | 2 | 1 | ms±20% | |
靜電容量 | 0.58 | 0.38 | μF±20% | |
工作溫度范圍 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |
承載能力 | 水平安裝 | 1 | 2 | kg |
立式安裝 | 1 | 1.5 | ||
倒置安裝 | 1 | 2 | ||
工作溫度范圍 | -20~65 | -20~65 | ℃ | |
材質 | 不銹鋼、鋁合金 | 不銹鋼、鋁合金 | μF±20% | |
出線長 | - | 1.5 | m±10mm | |
重量 | 310 | 240 | g | |
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺水平放置安裝,運動面位于PZT平臺的上方,運動面與水平面平行。 PS:參數(shù)表中承載能力默認方向 | 將PZT平臺立式放置安裝,運動面與重力方向平行 PS:存在多種立式安裝方式,技術參數(shù)對應承載 | 將PZT平臺水平放置,但運動面位于定位臺的下方 |
示意圖 |
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備注 | 當安裝方式選擇為立式安裝時,需注意出線口 | ||
P66.X2K 尺寸圖

P66.X5K 尺寸圖

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