描述：JKZC66.X15系列高分辨率壓電納米定位臺為一維X向運動壓電平臺，其內(nèi)部采用直驅(qū)機構(gòu)，可進行15μm范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整?？刹捎盟?、立式、倒置三種安裝方式，每種安裝承載能力不同，承載上限可達1kg。閉環(huán)版本可實現(xiàn)更高的定位精度。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時間
2026-08-06
訪問量
34

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JKZC66.X15系列高分辨率壓電納米定位臺

JKZC66.X15系列高分辨率壓電納米定位臺

產(chǎn)品介紹

JKZC66.X15系列高分辨率壓電納米定位臺為一維X向運動壓電平臺，其內(nèi)部采用直驅(qū)機構(gòu)，可進行15μm范圍內(nèi)的納米級位置調(diào)整。可采用水平、立式、倒置三種安裝方式，每種安裝承載能力不同，承載上限可達1kg。閉環(huán)版本可實現(xiàn)更高的定位精度。

產(chǎn)品特點

1、一維X向運動

2、行程可達15μm

3、納米級定位精度

4、分辨率可達0.5nm

JKZC66.X15系列高分辨率壓電納米定位臺

技術(shù)參數(shù)：

型號		尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán)	JKZC66.X15S	JKZC66.X15K	單位
運動自由度			X	X
驅(qū)動控制			1路驅(qū)動，1路傳感	1路驅(qū)動
標稱行程范圍（0~120V）			12	12	μm±10%
Max.行程范圍（0~150V）			15	15	μm±10%
閉/開環(huán)分辨率			1	0.5	nm
閉環(huán)線性度			0.16	-	%F.S.
閉環(huán)重復(fù)定位精度			0.03	-	%F.S.
推/拉力			500/20	500/20	N
剛度			28.8	28.8	N/μm±20%
空載諧振頻率			4350	4350	Hz±20%
帶載諧振頻率@300g			1070	1070	Hz±20%
承載能力	水平安裝		1	1	kg
	立式安裝		0.5	0.5
	倒置安裝		1	1
閉/開環(huán)空載階躍時間			8@300g	2	ms±20%
靜電容量			3.2	3.2	μF±20%
材料			不銹鋼、鋁合金	不銹鋼、鋁合金
重量			265	265	g±5%
連接器			驅(qū)動：J14A-9TJL 傳感：J14A-15TJL	驅(qū)動：J14A-9TJL

安裝方向	水平安裝	立式安裝	倒置安裝
釋義	將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認方向	將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載	將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方
示意圖
備注	當安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口