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高速納米掃描臺基于音圈電機驅(qū)動和高精度導(dǎo)向模組實現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動，內(nèi)置光柵位移傳感器，具有納米級運動分辨率和運動精度，同時兼具高速、高動態(tài)位移定位和掃描功能。

專為芯片-品圓鍵合(Dle-to-Wafer,D2W)應(yīng)用場景而設(shè)計，具備高精度、高動態(tài)吶應(yīng)、且可集成于多種封裝設(shè)備的納米級運動控制系統(tǒng)。

任何位移臺都有6個自由度:3個分別沿著x、y、z軸方向的平移自由度，另外3個則是圍繞x、yz軸的旋轉(zhuǎn)自由度(如圖1)。

精密運動位移臺基于步進電機驅(qū)動和高精度導(dǎo)向模組實現(xiàn)納米級超高分辨力的定位/掃描直線運動，內(nèi)置光柵位移傳感器，結(jié)構(gòu)緊湊，通過自主研發(fā)的高性能納米伺服系統(tǒng)獲得優(yōu)異的閉環(huán)控制效果，具有高精度、高速、高動態(tài)位移定位和掃描功能。

JKZC系列絕對式納米光柵尺傳感器基于阿米精控自主知識產(chǎn)權(quán)量測系統(tǒng)設(shè)計，可實現(xiàn)非接觸測量，保證了的測量分辨率，滿足各種應(yīng)用場景下納米級的測量需求。

JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機專為緊湊型應(yīng)用設(shè)計，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號調(diào)理電路，并針對適配探頭進行驅(qū)動優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。