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JKZC-3CD-300三維納米定位/掃描平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

用于驅(qū)控一體的高動(dòng)態(tài)數(shù)字伺服應(yīng)用。

JKZC-C2A微納控制器通過優(yōu)化控制輸入/輸出擺率和電源瞬態(tài)特性，引入增益動(dòng)態(tài)調(diào)整、相差動(dòng)態(tài)補(bǔ)償和高頻增益補(bǔ)償?shù)茸赃m應(yīng)機(jī)制，實(shí)現(xiàn)了系統(tǒng)性能和魯棒性的混合優(yōu)化o

JKZC-CS Tripod為適應(yīng)緊湊及模塊化的多軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，采用精密粘滑式壓電驅(qū)動(dòng)，并聯(lián)剛?cè)狁詈蠙C(jī)構(gòu)，在保證工作空間內(nèi)高剛度的基礎(chǔ)上，提供超精密的連續(xù)偏擺與升降。

JKZC-NHR高精度角度臺(tái)專用10°范圍內(nèi)高分辨率θ定位移動(dòng)，基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及特殊設(shè)計(jì)的驅(qū)動(dòng)和納米伺服技術(shù)，具有納米級(jí)重復(fù)定位精度，可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)行程士5°的俯仰調(diào)節(jié)。

JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。