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2024-12-10
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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
納米微位移傳感器主機
JKZC-CDM-0x系列微位移傳感器主機專為緊湊型應(yīng)用設(shè)計，內(nèi)置前置放大器、濾波器和信號調(diào)理電路，并針對適配探頭進行驅(qū)動優(yōu)化，適合于集成型應(yīng)用。
以多通道控制器為核心的電容式微位移傳感器用于對指標有著要求的超精密測量應(yīng)用。內(nèi)置不同的工作模式來分別適應(yīng)以靜態(tài)指標為主的計量型測量和以動態(tài)指標為主的實時應(yīng)用，以及兼顧動態(tài)和靜態(tài)指標的高帶寬超精密反饋控制系統(tǒng)應(yīng)用。多通道控制器內(nèi)置通道同步功能，支持最多6通道的同步測量，用于厚度檢測、旋轉(zhuǎn)偏差校正等應(yīng)用。
1、應(yīng)用領(lǐng)域
納米級運動測量
精密光學(xué)制造
超精密機床
超精密面型測量
微細形變測量
集成電路制造
2、技術(shù)特點
高精度
兼容動態(tài)和靜態(tài)指標
可設(shè)置多通道同時輸出和每個通道獨立輸出
體積小、重量輕，通過連接主體兼容多個通道
3、規(guī)格參數(shù)：
規(guī)格型號：
型號 | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | JKZC-CDM-100S | CDN300+前置放大器CPA110 | CDN600+前置放大器CPA110 |
適配探頭 | JKZC/506-100 | JKZC/510-200 | JKZC/20-2000 | ||
遞道數(shù) | 1 | 1 | 1 |
電氣特征：
輸出 | 模擬 | 模擬 | 模擬 | 搜:可乳,默認士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實時:SPI | 搜:可乳,默認士5V基分;通d: USB,Ethemet,EtherCAT,CAN,RS232實時:SPI | ||
電源 | ±15VDC | ±15VDC | ±15VDC | 220WAC | 220WAC | ||
內(nèi)置前置放大器 | 是 | 是 | 是 | 靜態(tài)分辨率 | 0.00004%FSR | 0.00004%FSR | |
量程 | 100um | 200um | 2000um | 動態(tài)分辨率@2kHz | 0.00013%FSR | 0.00013%FSR | |
分辣率RMS | 2Hz | 0.02nm | 0.04nm | 0.31nm | 帶寬 | 可調(diào)，默認2kHz | 可調(diào),默認2kHz |
25Hz | 0.04nm | 0.08nm | 0.78nm | 數(shù)據(jù)輸出速率 | 可調(diào)，默認3*10kHz | 可調(diào)，默認6*10kHz | |
1KHz | 0.11nm | 0.21nm | 1.16nm | 重復(fù)性 | 0.00017%FSR | 0.0001T%FSR | |
2KH2 | 0.15nm | 0.30nm | 1.53nm | 線性度 | 0.00017%FSR | 0.015%FSR | |
默認帶寬 | 2kHz | 2kHz | 2kHz | 同步測量 | 支持 | 支持 | |
重復(fù)性 | 0.21nm | 0.39nm | 2.1nm | 觸發(fā)輸出 | 4路TTL。事件可配置 | 8路TTL。事件可配置 | |
其他:
工作溫度范圍 | -20-100°C | 0-70°C | 0-70°C |
請用探頭電攬 | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m | 1.5m,2m.2.5m |
尺寸 | CDM-006/CDM 300/CDM 600 | 342mmx250mmx132mm | 150mmx250mmx 132mm |
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