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2024-12-10
+2022-02-18
+2018-06-20
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JKZC-ST-XY二維納米定位/掃描平臺基于做納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運(yùn)動分辨率、納米級運(yùn)動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃描功能。
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運(yùn)動分辨率、納米級運(yùn)動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
Z軸納米定位/掃描平臺基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級運(yùn)動分辨率、納米級運(yùn)動精度和高速、高動態(tài)軌跡掃搭功能。
六自由度調(diào)臺可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動，動態(tài)范圍大，重載穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。
音圈電機(jī)驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運(yùn)動機(jī)構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)Z軸線性運(yùn)動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動?？梢詫?shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動、兩軸線性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動。
JKZC-X-16A 單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。
當(dāng)前位置：