P11.X100一維X向小體積壓電納米定位臺 100μm

產(chǎn)品介紹

JKZC-P11系列小體積壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電平移臺，JKZC-P11.X為一維小體積壓電納米定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，一體的結(jié)構(gòu)設(shè)計，多維運(yùn)動無耦合。 機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。壓電定位臺具有控制精度，分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊 易于集成。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、 一維X軸運(yùn)動       2、 位移行程100μm      3、 體積小巧

4、 毫秒級響應(yīng)時間      5、 納米級定位精度        6、 真空版本可選

大行程、閉環(huán)版本定位精度高、響應(yīng)速度快

JKZC-P11系列納米定位臺采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計原理，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷作為驅(qū)動源，可以實(shí)現(xiàn)1~3維100μm的精密運(yùn)動。
      該系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本， 閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實(shí)時檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可以實(shí)時對位移進(jìn)行精密調(diào)整，實(shí)現(xiàn)納米級的精密定位控制。

產(chǎn)品應(yīng)用

1、 光纖定位/光學(xué)掃描    2、 納米壓印   3、納米計量       4、微操控

5、 納米定位        6、 干涉法/ 掃描顯微/納米定位    7、生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù)           8、質(zhì)量保證測試     9、微加工/精密控制

JKZC-P11全系列產(chǎn)品

技術(shù)參數(shù)

若此工作頻率已接近或超過諧振頻率，建議在小于諧振頻率以下使用，若在此頻率下工作，輸入電壓要足夠小，請從小信號逐漸調(diào)試。開環(huán)使用時可達(dá)到的工作頻率大于此頻率。 

可定制低溫版本及高真空版本。 

連接器可定制。 

注：以上所提參數(shù)與測試環(huán)境、測試設(shè)備有關(guān)。 

尺寸圖