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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,道路/軌道/船舶,綜合,機(jī)械設(shè)備 |
JKZC-P66.X60一維X向高分辨率壓電納米定位臺(tái) 60μm

產(chǎn)品介紹:
JKZC-P66.X60高分辨率壓電納米定位臺(tái)以壓電陶瓷為驅(qū)動(dòng)源并采用直驅(qū)式驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的壓電位移平臺(tái),是壓電與柔性鉸鏈相結(jié)合的納米定位系統(tǒng),可達(dá)毫秒級(jí)響應(yīng)、納米級(jí)定位精度,并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應(yīng)用,如干涉中光路徑長(zhǎng)度修正、顯微或掃描應(yīng)用中的樣品定位等。
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、 位移60μm 2、承載能力6kg 3、亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 |
44 4 4、開閉環(huán)可選 5、真空版本可選
開閉環(huán)版本可選
JKZC- P66系列壓電納米定位臺(tái)可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本,閉環(huán)版本壓電納米定位臺(tái)內(nèi)部配有高分辨率及快速響應(yīng)的應(yīng)變傳感器(SGS),配備在驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的合適位置,它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號(hào)。
應(yīng)用實(shí)例:原子力探針掃描顯微鏡
壓電納米定位臺(tái)以其高響應(yīng)頻率、高精度、高可靠性等優(yōu)勢(shì)廣泛應(yīng)用于原子力探針掃描顯微鏡中。
應(yīng)用實(shí)例:原子力探針掃描顯微鏡


產(chǎn)品應(yīng)用:
1、 光纖端面檢測(cè) 2、光纖對(duì)接 3、硬盤測(cè)試
4、電化學(xué)加工 5、 3D錫膏檢測(cè) 6、干涉法/ 顯微/納米定位
7、生物技術(shù)/半導(dǎo)體技術(shù) 8、質(zhì)量保證測(cè)試 9、微加工/精密控制
技術(shù)參數(shù):
型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | JKZC-P66.X60S JKZC-P66.X60K | 單位 | |
運(yùn)動(dòng)自由度 | X | |||
驅(qū)動(dòng)控制 | 1路驅(qū)動(dòng),1路傳感 | |||
標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 48 | μm±10% | ||
Max.行程范圍上限(0~150V) | 60 | μm±10% | ||
傳感器類型 | SGS/- | |||
閉/開環(huán)分辨率 | 2/0.5 | nm | ||
閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | ||
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.05/- | %F.S. | ||
俯仰/偏航/滾動(dòng) | <20 | μrad | ||
推/拉力 | 160/16 | N | ||
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 2.8 | N/μm±20% | ||
空載諧振頻率 | 2.8 | kHz±20% | ||
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/1.6 | ms±20% | ||
閉環(huán)工作頻率(-3dB) | 500(空載) | Hz±20% | ||
承載能力 | 水平安裝 | 6 | kg | |
立式安裝 | 0.1 | kg | ||
倒置安裝 | 6 | kg | ||
靜電容量 | 7.2 | μF±20% | ||
材質(zhì) | 鋁 | |||
重量 | 190 | g±5% | ||
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺(tái)水平放置安裝,運(yùn)動(dòng)面位于PZT平臺(tái)的上方,運(yùn)動(dòng)面與水平面平行。 PS:參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向
| 將PZT平臺(tái)立式放置安裝,運(yùn)動(dòng)面與重力方向平行 PS:存在多種立式安裝方式,技術(shù)參數(shù)對(duì)應(yīng)承載
| 將PZT平臺(tái)水平放置,但運(yùn)動(dòng)面位于定位臺(tái)的下方 |
示意圖 | | | |
備注 | 當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí),需注意出線口 | ||
尺寸圖
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