描述：JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間
2026-04-22
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76

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品牌	北京精科	產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,能源,電子/電池,電氣,綜合

JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)

JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)基于微納柔性機(jī)構(gòu)和壓電執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)超高分辨力納米運(yùn)動(dòng)，通過高性能納米伺服系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，具有亞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)分辨率、納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度和高速、高動(dòng)態(tài)軌跡掃描功能。

JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)

1、典型應(yīng)用

超分辨率顯微微調(diào)

振動(dòng)臺(tái)

顯微成像/操縱

壓電微位移

3D成像

干涉測(cè)量

生物技術(shù)

半導(dǎo)體測(cè)試

2、技術(shù)特點(diǎn)：

亞納米級(jí)分辨率

超高定位精度

無(wú)摩擦柔性較鏈導(dǎo)向

超高真空兼容性

高速、高動(dòng)態(tài)

多運(yùn)動(dòng)模式：定位/掃描

JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)

3、規(guī)格參數(shù)

	JKZC-OL-Z-100	JKZC-OL-Z-200	單位
運(yùn)動(dòng)觸數(shù)	1
驅(qū)動(dòng)類型	壓電陶瓷
閉環(huán)行程	100	200	μm
閉環(huán)分辨率	1		nm
最小步長(zhǎng)	2		nm
無(wú)負(fù)載諧振頻率	560	750	Hz
最大負(fù)載	200		g
傳感器類型	電容傳感器
尺寸(LxWxH)	69.7x46x41	71.5x55x41	mm
白重	90	258	g
電氣接口	D-sub9/可定制
工作泗度	-20-80		℃
屏蔽線纜長(zhǎng)度	2		m
材料	鋁合金
真空(可選)	超真空兼容(5x10")		mbar

真空版型號(hào):NP-OL-Z-HV

適配控制器

JKZC-OL-Z物鏡壓電納米平臺(tái)

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