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JKZC-XY-100A 雙軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

JKZC-Z-10AT長(zhǎng)行程壓電升降臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

大口徑快反鏡采用差分驅(qū)動(dòng)與差分傳感設(shè)計(jì)，通過(guò)負(fù)載平面的兩軸(θx,θy)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)高精密指向與調(diào)姿，輸出扭矩大，響應(yīng)速度快，控制精度高，動(dòng)態(tài)性能好。

單軸長(zhǎng)行程壓電滑臺(tái)基于粘滑仿生運(yùn)動(dòng)原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動(dòng)技術(shù)，具有數(shù)厘米級(jí)行程和納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度。

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場(chǎng)變化時(shí)電容值的變化量來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測(cè)量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了的測(cè)量分辨率、線性度以及高測(cè)量帶寬，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。

電容式微位移傳感器基于電容電極間均勻電場(chǎng)變化時(shí)電容值的變化量來(lái)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)位移的精確測(cè)量?？蓪?shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量，保證了的測(cè)量分辨率、線性度以及高測(cè)量帶寬，滿足各種應(yīng)用場(chǎng)景下納米級(jí)的測(cè)量需求。