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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,道路/軌道/船舶,綜合,機(jī)械設(shè)備 |
JKZC-770.300 大負(fù)載壓電納米定位臺

產(chǎn)品介紹
壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各 類高精密裝備,為其提供納米級運(yùn)動控制,且應(yīng)用非常廣泛。
JKZC-770.300 大負(fù)載壓電納米定位臺為 Z 軸方向的運(yùn)動平臺,行程可達(dá) 300μm,負(fù)載可達(dá)5kg,實(shí)現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升,為同時(shí)有大行程、 大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、 響應(yīng)速度快。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、Z 向運(yùn)動 2、300μm 3、承載達(dá) 5kg
4、參數(shù)可定制 5、可定制真空版本
典型應(yīng)用
1、顯微掃描 2、光路調(diào)整 3、納米操控技術(shù) 4、激光干涉
5、納米光刻 6、生物科技 7、光通信 8、納米測量
9、顯微操作 10、納米壓印
技術(shù)參數(shù)
型號 | JKZC-770.300S | JKZC-770.300K | 單位 | |
運(yùn)動方向 | Z | Z | ||
驅(qū)動控制 | 1路驅(qū)動,1路傳感 | 1路驅(qū)動 | ||
標(biāo)稱行程范圍(0~120V) | 240 | 240 | μm±10% | |
Max.行程范圍(0~150V) | 300 | 300 | μm±10% | |
傳感器類型 | SGS | - | ||
分辨率 | 10 | 3 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.08 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.02 | - | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 | <15 | <15 | μrad | |
空載諧振頻率 | 380 | 380 | Hz±20% | |
帶載諧振頻率 | 110@5kg | 110@5kg | Hz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 300/10 | 300/10 | ms±20% | |
承載能力 | 水平安裝 | 5 | 5 | kg |
立式安裝 | 0.08 | 0.08 | kg | |
倒置安裝 | 0.4 | 0.4 | kg | |
靜電容量 | 40.8 | 40.8 | μF±10% | |
臺體材料 | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | ||
重量 | 1 | 1 | kg±5% | |
工作溫度 | -20~80 | -20~80 | ℃ | |
注:以上參數(shù)是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。最大驅(qū)動電壓可在 -20V~150V;對于高可靠的長期使用,建議驅(qū)動電壓在 0~120V
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺水平放置安裝,運(yùn)動面位于PZT平臺的上方,運(yùn)動面與水平面平行。 PS:參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向
| 將PZT平臺立式放置安裝,運(yùn)動面與重力方向平行 PS:存在多種立式安裝方式,技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載
| 將PZT平臺水平放置,但運(yùn)動面位于定位臺的下方 |
示意圖 | | | |
備注 | 當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時(shí),需注意出線口 | ||
尺寸圖

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