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廠商性質(zhì)
生產(chǎn)廠家更新時間
2026-08-06訪問量
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2019-10-16
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詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,道路/軌道/船舶,綜合,機(jī)械設(shè)備 |
JKZC-611.Z300 系列壓電納米定位臺（低溫真空）
產(chǎn)品簡介
JKZC-611.Z300 是一款 Z 向運動的壓電納米定位臺，它的行 程可達(dá) 300μm，是專為低溫真空環(huán)境應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計。
產(chǎn)品特點
1、 Z 向運動 2、行程達(dá) 300μm 3、適用于低溫真空應(yīng)用
4、 可選閉環(huán)傳感器 5、高精度
產(chǎn)品應(yīng)用
1、表面檢測 2、 顯微成像 3、 低溫真空 4、 半導(dǎo)體加工與測試
技術(shù)參數(shù)
型號 | JKZC-611.Z300S | JKZC-611.Z300S | 單位 | |
運動方向 | Z | Z | ||
驅(qū)動控制 | 1路驅(qū)動，1路傳感 | 1 路驅(qū)動 | ||
標(biāo)稱行程范圍（0 ~120 V） | 240 | 240 | µm±20% | |
Max.行程范圍（0~150V） | 300 | 300 | µm±20% | |
傳感器類型 | SGS，全閉環(huán) | - | ||
分辨率 | 10 | 3 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.5 | - | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.15 | - | %F.S. | |
空載諧振頻率 | 105 | 105 | Hz±20% | |
帶載諧振頻率 | 30（@300g） | 30（@300g） | ||
承載能力 | 水平安裝 | 0.3 | 0.3 | kg |
立式安裝 | 0.02 | 0.02 | ||
倒置安裝 | 0.02 | 0.02 | ||
靜電容量 | 5.4 | 5.4 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鈦 | 鈦 | ||
安裝方向 | 水平安裝 | 立式安裝 | 倒置安裝 |
釋義 | 將PZT平臺水平放置安裝，運動面位于PZT平臺的上方，運動面與水平面平行。 PS：參數(shù)表中承載能力默認(rèn)方向 | 將PZT平臺立式放置安裝，運動面與重力方向平行 PS：存在多種立式安裝方式，技術(shù)參數(shù)對應(yīng)承載 | 將PZT平臺水平放置，但運動面位于定位臺的下方 |
示意圖 | | | |
備注 | 當(dāng)安裝方式選擇為立式安裝時，需注意出線口 | ||
尺寸圖
產(chǎn)品咨詢
當(dāng)前位置：
