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音圈電機(jī)驅(qū)動三自由度晶圓調(diào)節(jié)臺，屬于三軸并聯(lián)運(yùn)動機(jī)構(gòu)。通過三個線性移動軸的并聯(lián)運(yùn)動實(shí)現(xiàn)Z軸線性運(yùn)動和θxθy軸旋轉(zhuǎn)運(yùn)動?？梢詫?shí)現(xiàn)單軸直線運(yùn)動、兩軸線性插補(bǔ)、兩軸圓弧插補(bǔ)、任意圓心旋轉(zhuǎn)等復(fù)雜運(yùn)動。

JKZC-X-16A 單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。

JKZC-X-16B單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。

JKZC-X-36A單軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。

壓電螺釘以自身超遠(yuǎn)行程、高穩(wěn)定性、納米級分辨率和斷電自鎖等優(yōu)勢，能夠?qū)崿F(xiàn)應(yīng)用于精密的納米運(yùn)動平臺系統(tǒng)以及免接觸緊湊封裝型光學(xué)調(diào)整裝置。

JKZC-XY-16A雙軸長行程壓電滑臺基于粘滑仿生運(yùn)動原理及整/亞步復(fù)合納米運(yùn)動技術(shù)，具有數(shù)厘米級行程和納米級運(yùn)動精度。