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詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環(huán)保,能源,道路/軌道/船舶,綜合,機械設備 |
JKZC-P66.X30 一維X向高分辨率壓電納米定位臺 30μm
產品介紹：
JKZC-P66.X直驅壓電平移臺，是一維X軸運動高分辨率壓電定位臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現(xiàn)納米級分辨率、定位精度具有可靠性，壓電平移臺在精密定位領域中發(fā)揮著重要的作用。
產品特點:
1、 位移30μm/軸 2、 電阻與電容傳感器可選 3、 多維運動無耦合 5、 承載8kg 6、 真空版本可選
|
開環(huán)與閉環(huán)版本可選
JKZC-P66系列壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。
傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實現(xiàn)滿行程0.05%的線性度與重復度。
傳感器類型
應用實例：原子力探針掃描顯微鏡
JKZC-P66.XY壓電納米定位臺以其高響應頻率、高精度、高可靠性等優(yōu)勢廣泛應用于原子力探針掃描顯微鏡中。
產品應用：
1、 光纖端面檢測 2、 光纖對接 3、硬盤測試 4、電化學加工
5、3D錫膏檢測 6、 干涉法/ 顯微/納米定位 7、 生物技術/半導體技
8、質量保證測試 9、微加工/精密控制
技術參數：
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | JKZC-P66.X30S | JKZC-P66.X30K | 單位 |
運動自由度 | X | X | ||
驅動控制 | 1路驅動，1路傳感 | 1路驅動 | ||
傳感器類型 | SGS | - | ||
標稱行程范圍（0~120 V） | 24 | 24 | µm±10% | |
Max.形成范圍（0~150 V） | 30 | 30 | µm±10% | |
分辨率 | 1 | 0.5 | nm，typ. | |
閉環(huán)線性度 | 0.1 | - | %F.S. | |
重復定位精度 | 0.05 | - | %F.S. | |
傾斜/偏航/滾動 | <15 | <15 | µrad | |
運動方向剛度 | 4.4 | 4.4 | N/µm±20% | |
空載諧振頻率 | 5 | 5 | kHz±20% | |
閉環(huán)工作頻率（-3dB） | 600（空載） | 600（空載） | Hz±20% | |
閉 / 開環(huán)空載階躍時間 | 5 | 0.8 | ms±20% | |
運動方向推/拉力 | 120/15 | 120/15 | N | |
承載能力 | 水平安裝 | 8 | 8 | kg |
立式安裝 | 0.3 | 0.3 | kg | |
倒置安裝 | 8 | 8 | kg | |
驅動性能 | ||||
靜電容量 | 3.6 | 3.6 | μF±20% | |
材質 | 鋁 | 鋁 | ||
重量 | 120 | 120 | g±5% | |
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